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蒸发真空镀膜机的介绍

作者:admin    来源:未知    发布时间:2018/6/4    
结构要求
  1、设备的结构应布局合理,造型美观,操作方便,便于维修。
  2、设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合GB/T 6070和JB/T 1090~1092的规定。
  3、在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管,分别测量各部位的压力。
  4、如果设备的真空机组以扩散泵为主泵,应在扩散泵的进气口安装挡板或冷阱。
  5、镀膜室应有观察窗,对在镀膜过程中发生射线的设备,观察窗上应加装防射线镜片。
  6、带工件烘烤装置的设备,应有测温电极或测温装置。
  7、工件架旋转机构的转速应符合产品设计要求。
  8、装有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备,在产品设计要求规定的参数范围内应能正常连续稳定工作30分钟以上。
  9、采用钨丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸镀材料正常蒸发,且在蒸发过程中,加热器的几何形状应不影响正常蒸发。
  10、设备的蒸发源工作状况应稳定,易于调节控制。对各类蒸发源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源、离子束蒸发源、激光蒸发源、感应式蒸发源等)的技术要求应按相应的产品标准作具体规定。
  11、设备采用低电压、大电流电阻蒸发源时,每个蒸发源加热器应在电压4V~20V,电流50A~180A状态下正常工作。
  制造要求
  1、设备的零部件机械加工质量及焊接件质量、装配质量应符合制造厂技术文件的规定
  2、设备镀膜室内表面及各密封表面的粗糙度Ra值应不大于1.6um,且对工作时处于真空状态的各表面 应进行有效的真空清洁处理并予以干燥。各转动件、升降机构等动作应灵活,不得有卡、滞、松、抖及异常声响等现象,需用润滑脂的动密封处应充入适量真空油脂。
  3、设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定。
  4、设备配套的电气装置的质量应符合制造厂技术文件的规定,并应保证设备运行和操作时安全可靠。
  5、设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面的边沿应整齐匀称,不得有明显错位。金属零件的镀层应牢固,无脱落及生锈等现象,所有坚固件应有防锈层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固、无脱落、起皮等现象。
  6、设备中外购的配套产品,应符合相应的产品标准,并应有质量合格证。设备中自制的配套产品,经制造厂检验部门检验合格后方可使用。
  7、设备中各类蒸发源、辅助离子源及离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、膜厚监控等装置。应逐项调试和联合调试,其性能均应达到设计要求,运行可靠。工件加热到额定温度,真空室外表面温度不得高于45度,设备运动部分应能正常工作。

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